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壓阻式壓力傳感器的壓力丈量試驗(yàn)
一、?試驗(yàn)意圖:了解松懈硅壓阻式壓力傳感器丈量壓力的原理和辦法。
二、?基本原理:松懈硅壓阻式壓力傳感器在單晶硅的基片上松懈出P型
或N型電阻條,接成電橋。在壓力效果下,依據(jù)半導(dǎo)體的壓阻效應(yīng),基片發(fā)生應(yīng)力,電阻條的電阻率發(fā)生很大改動,致使電阻的改動,咱們把這一改動引進(jìn)丈量電路,則其輸出電壓的改動反映了所遭到的壓力改動。
三、?試驗(yàn)設(shè)備:壓力源、壓力表、壓阻式壓力傳感器、壓力傳感器試驗(yàn)
模板、流量計(jì)、三通聯(lián)接導(dǎo)管、數(shù)顯單元、直流穩(wěn)壓源±4V、±15V。
四、?試驗(yàn)辦法和央求:
1、依據(jù)電子電路常識完畢電路聯(lián)接,主控箱內(nèi)的氣源有些、緊縮泵、儲氣箱、流量計(jì)在主控箱內(nèi)部已接好。將最為標(biāo)準(zhǔn)出的壓力表需要放置傳感器支架上面,再三通聯(lián)出接納中硬管一端的刺進(jìn)在主控板上的氣源快速插座中(留心管子拉出時再請用雙指按住氣源插座邊際往內(nèi)壓,則硬管可輕松拉出)。其他兩根軟導(dǎo)管分別與規(guī)范表和壓力傳感器接通。將傳感器引線插頭刺進(jìn)試驗(yàn)?zāi)0宓牟遄小?/span>
2、需要先松開實(shí)驗(yàn)流量計(jì)下端的進(jìn)氣口調(diào)氣閥的旋鈕,去注冊流量計(jì)。?3、再合上主控箱上的氣源開關(guān),建議緊縮泵,此時可看到流量計(jì)中的滾珠浮子在向上浮起懸于玻璃管中。
4、逐漸關(guān)小流量計(jì)旋鈕,使規(guī)范壓力表指示某一刻度,查詢數(shù)顯表閃現(xiàn)電壓的正、負(fù),若為負(fù)值則對調(diào)傳感器氣咀接法。
5、細(xì)心地逐漸由小到大調(diào)度流量計(jì)旋鈕,使壓力閃現(xiàn)在4—14KP之間,每上升1KP分別讀取壓力表讀數(shù),記下相應(yīng)的數(shù)顯表值。?6、核算本系統(tǒng)的靈敏度和非線性過失。
五、?思考題:
假定本試驗(yàn)設(shè)備要成為一個壓力計(jì),則有必要對其進(jìn)行標(biāo)定,怎么標(biāo)定?