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MEMS技術(shù)是在現(xiàn)代微電子技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的一門(mén)新興科學(xué)技術(shù)，它融合了微電子與精密機(jī)械制作技術(shù)，是將微傳感器、微執(zhí)行器以及微信號(hào)處理與控制電路、通信、電源集成于一體的微型機(jī)電系統(tǒng)。采用MEMS技術(shù)的地震傳感器有著傳統(tǒng)地震傳感器不可比擬的優(yōu)勢(shì)。如：檢測(cè)靈敏度高、精度高、響應(yīng)范圍大，檢測(cè)快速等。

在電梯行業(yè)中，電梯地震傳感器是一個(gè)小眾產(chǎn)品，但又是一個(gè)關(guān)鍵部件。美、日、歐盟等國(guó)外發(fā)達(dá)國(guó)家制定的標(biāo)準(zhǔn)中都對(duì)電梯地震傳感器有著相應(yīng)的要求。

地震傳感器一般分為兩類(lèi)，一類(lèi)是傳統(tǒng)的機(jī)械式傳感器，一類(lèi)是電子式傳感器，多為采用MEMS加速度傳感器。前期多采用機(jī)械式傳感器，技術(shù)相對(duì)成熟，雖然電子式傳感器有著許多先天的優(yōu)勢(shì)，更新?lián)Q代需要一個(gè)相當(dāng)長(zhǎng)的時(shí)間。美國(guó)和歐洲的一般采用電子式的地震傳感器。

目前，電子式地震傳感器一般采用MEMS技術(shù)的低噪聲、高靈敏度三軸加速度傳感器，來(lái)采集地震加速度，輸出相應(yīng)的電信號(hào)，通過(guò)低通濾波濾除高頻干擾，然后經(jīng)由高精度模數(shù)轉(zhuǎn)換器送給微處理器，微處理器對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行分析，判斷地震事件是否發(fā)生，如有地震事件則進(jìn)行相應(yīng)的觸點(diǎn)輸出，并記錄地震發(fā)生信息。

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