半導(dǎo)體壓敏電阻式進(jìn)氣歧管絕對壓力傳感器

半導(dǎo)體壓敏電阻式進(jìn)氣歧管絕對壓力傳感器由壓力轉(zhuǎn)換元件（硅膜片）和把轉(zhuǎn)換元件輸出信號(hào)進(jìn)行放大的混合集成電路組成。

壓力轉(zhuǎn)換元件是利用半導(dǎo)體的壓阻效應(yīng)制成的硅膜片。硅膜片的一側(cè)是真空室，另一側(cè)導(dǎo)入進(jìn)氣歧管壓力，所以進(jìn)氣歧管內(nèi)絕對壓力越高，硅膜片的變形越大，其變形量與壓力成正比。附著在薄膜上的應(yīng)變電阻的阻值則產(chǎn)生與其變形量成正比的變化。利用這種原理，可把進(jìn)氣歧管內(nèi)壓力的變化變換成電信號(hào)。

一般此種傳感器與 ECU有3根導(dǎo)線相連：ECU向傳感器供電的電源線，供電電壓一般為4.8-5.1V，傳感器的信號(hào)輸出線和傳感器的接地線。在發(fā)動(dòng)機(jī)怠速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，進(jìn)氣歧管的真空度高（絕對壓力低），傳感器的電阻值大，傳感器輸出1.5-2.1V的低電壓信號(hào)；當(dāng)節(jié)氣門全開時(shí)，歧管真空度低（絕對壓力高），傳感器電阻小，傳感器輸出3.9-4.8V的高電壓信號(hào)。

真空膜盒傳動(dòng)的可變電感式進(jìn)氣歧管絕對壓力傳感器

真空膜盒傳動(dòng)的可變電感式進(jìn)氣歧管絕對壓力傳感器主要由膜盒、鐵心、感應(yīng)線圈和電子電路等組成。

膜盒是由薄金屬片焊接而成，其內(nèi)部被抽成真空，外部與進(jìn)氣歧管相通。外部壓力變化將使膜盒產(chǎn)生膨脹和收縮的變化。置于感應(yīng)線圈內(nèi)部的鐵芯和膜盒聯(lián)動(dòng)。感應(yīng)線圈由2個(gè)繞組構(gòu)成，其中一個(gè)與振蕩電路相連，產(chǎn)生交流電壓，在線圈周圍產(chǎn)生磁場，另一個(gè)為感應(yīng)繞組，產(chǎn)生信號(hào)電壓。當(dāng)進(jìn)氣歧管壓力變化時(shí)，膜盒帶動(dòng)鐵心在磁場中移動(dòng)，使感應(yīng)線圈產(chǎn)生的信號(hào)電壓隨之變化。該信號(hào)電壓由電子電路檢波、整形和放大后，作為傳感器的輸出信號(hào)送至電控單元（ECU）。

由于這種傳感器是利用12V電源完成變壓作用的，所以拔下插座就無法檢查傳感器的好壞。檢測時(shí)，將萬用表（電壓擋）的表筆分別插入導(dǎo)線連接器與兩端子接觸，測量其輸出電壓。測量方法如下：在不動(dòng)插座的情況下閉合點(diǎn)火開關(guān)(ON)，將萬用表表筆與Vs、E端子接觸。在開放真空管道、加上大氣壓的情況下，電壓值約為1.5V，而在用嘴巴對真空管道吸氣的情況下，電壓值應(yīng)從1.5V起向降低方向變化；發(fā)動(dòng)機(jī)怠速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，電壓值約為0.4V ,而當(dāng)發(fā)動(dòng)機(jī)轉(zhuǎn)速升高時(shí)，此電壓值也升高。

頻率型壓力傳感器

電容式進(jìn)氣壓力傳感器

電容式進(jìn)氣壓力傳感器是用氧化鋁膜片和底板彼此靠近排列形成電容，利用電容膜片上下壓力差而改變的性質(zhì)，獲得與壓力成正比的電容值信號(hào)。將電容連接到傳感器混合集成電路的震蕩電路中，傳感器產(chǎn)生可變頻率的信號(hào)。輸出頻率與進(jìn)氣壓力成正比，在80.120Hz之間變化。

表面彈性波式進(jìn)氣壓力傳感器

表面彈性波式進(jìn)氣壓力傳感器是在一塊壓電基片上用超聲波方法加工出一個(gè)薄膜敏感區(qū)，上面刻制換能器（壓敏SAW延時(shí)線），換能器與電路組合成振蕩器。換能器是在拋光的壓電基片上設(shè)置2個(gè)金屬叉指構(gòu)成，若在輸入換能叉指T1上加電信號(hào)，便由逆壓電效應(yīng)在基片壽面激勵(lì)起彈性表面波，傳播到換能文指T2轉(zhuǎn)換成電信號(hào)，經(jīng)放大后反饋到T1以便保持振蕩狀態(tài)。表面彈性波（SAW）在2個(gè)換能叉指之間的傳播時(shí)間即是所獲得的延遲時(shí)間，其大小取決于2個(gè)換能叉指間的距離。由于導(dǎo)入的進(jìn)氣歧管壓力作用于壓電基片上，壓力變化將在薄膜敏感區(qū)產(chǎn)生應(yīng)變，即使換能叉指間距離發(fā)生變化。因而，表面彈性波傳播的延遲時(shí)間相應(yīng)變化。這樣，根據(jù)與延遲時(shí)間成反比的振蕩頻率，即可輸出壓力信號(hào)。

頻率型壓力傳感器信號(hào)電壓一般是5V或12V。當(dāng)空氣流量變化時(shí)，電壓始終不變，而輸出的脈沖頻率發(fā)生變化，因此不能根據(jù)測量電壓高低確定流量變化。檢測時(shí)用萬用表找到壓力傳感器的頻率信號(hào)輸出線，將汽車萬用表打到“DC”擋，按SELECT功能選擇鍵轉(zhuǎn)換成“DC+Hz”擋。起動(dòng)發(fā)動(dòng)機(jī)逐漸加速觀察，主顯示直流電壓和副顯示上的頻率，是否隨轉(zhuǎn)速變化而變化，一般的頻率型的壓力傳感器隨著進(jìn)氣量的增加頻率也在改變。